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本发明涉及碳化硅粉料生产领域，具体涉及一种多温区高纯度碳化硅粉料生产装置。包括炉体、盖体、加热组件、保温层和旋转组件，通过对主石墨加热器和侧石墨加热器的配合设置尽量减少了加热腔内热量的外散从而利于对位于加热腔内的坩埚进行加热，同时通过气体的...
该专利属于郑州鬃晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州鬃晶科技有限公司授权不得商用。

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