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本技术提供了一种气体分配盘的模板结构，所述模板结构包括板材本体，所述板材本体的一侧表面设置有若干个螺纹孔，所述若干个螺纹孔用于固定气体分配盘，在所述板材本体的长度方向，相邻所述螺纹孔的中心之间的距离为39.9～40.1mm；在所述板材本体的...
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