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热屏及单晶炉热场制造技术
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文档序号:40757629
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本技术公开了一种热屏及单晶炉热场,热屏包括主体段及与主体段相连的改性段,改性段包括底板和与底板相连的圆弧部,沿热屏的高度方向,改性段的高度小于或等于主体段的高度;热屏具有内部腔体,改性段包括靠近内部腔体的基体层和远离内部腔体的耐蚀层,耐蚀层...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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