下载一种投料装置及投料方法的技术资料

文档序号:40756249

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本申请公开了一种投料装置及投料方法,涉及单晶硅生产制造技术领域。所述投料装置包括投料本体和挡料组件,所述投料本体具有容纳腔,所述容纳腔用于放置硅料;所述挡料组件套设于所述投料本体,所述挡料组件包括挡片,所述挡片用于阻挡硅粉或硅液。本申请能够...
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