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晶片收纳容器清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:40752874
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晶片收纳容器清洗装置,用于清洗具有壳体和门的晶片收纳容器,并能输出相关于晶片收纳容器的收纳空间内的清洁程度的颗粒的信息。壳体具有壳体开口部及收纳晶片且与壳体开口部连通的收纳空间;门能开闭地装设于壳体开口部。晶片收纳容器清洗装置包括:清洗槽主...
该专利属于芝浦机械电子装置株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过芝浦机械电子装置株式会社授权不得商用。
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