下载N-TOPCON电池硼扩散方法、制备方法及电池、电池组件的技术资料

文档序号:40749405

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本发明公开了一种N‑TOPCon电池硼扩散方法、制备方法及电池、电池组件,属于TOPCON电池及组件技术领域,清洗后的硅片,采用PECVD工艺在正面沉积POLY层,并通入BH<subgt;3</subgt;,硼离子捕获电子形成硼...
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