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本技术提供了具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,包括:电镀前段组件,其包括至少一个前段电镀单元;设置在电镀薄膜两侧的阴极导电机构;前段电镀单元包括:电镀槽,其内设置有电镀阳极;电镀阳极包括不溶性阳极和溶性阳极;不溶性阳极设置在所述电镀...该专利属于深圳金美新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳金美新材料科技有限公司授权不得商用。
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本技术提供了具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,包括:电镀前段组件,其包括至少一个前段电镀单元;设置在电镀薄膜两侧的阴极导电机构;前段电镀单元包括:电镀槽,其内设置有电镀阳极;电镀阳极包括不溶性阳极和溶性阳极;不溶性阳极设置在所述电镀...