一种具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置制造方法及图纸

技术编号:40749265 阅读:18 留言:0更新日期:2024-03-25 20:05
本技术提供了具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,包括:电镀前段组件,其包括至少一个前段电镀单元;设置在电镀薄膜两侧的阴极导电机构;前段电镀单元包括:电镀槽,其内设置有电镀阳极;电镀阳极包括不溶性阳极和溶性阳极;不溶性阳极设置在所述电镀薄膜的一侧;溶性阳极设置在电镀薄膜的另一侧;电镀后段组件,设置于电镀前段组件的下游,其包括至少一个后段电镀单元;设置在电镀薄膜两侧的阴极导电机构;后段电镀单元包括:电镀槽,其内成对设置有溶性阳极;溶性阳极设置所述电镀薄膜的两侧,通过在电镀线中设置不溶性阳极,达到稳定镀液中金属离子含量,保证连续生产,提高生产效率,降低生产成本的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电镀,具体涉及一种具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置


技术介绍

1、在复合膜电镀铜过程中,一般采用磷铜阳极为镀液提供铜离子,在生产过程中,磷铜球阳极形成铜离子的数量会大于铜离子消耗的数量,导致镀液中铜离子缓慢上升,随着时间的推移,镀液中铜离子含量会超出工艺要求,因此,需要通过将含高浓度铜离子的镀液从电镀槽中抽出一部分,然后往电镀槽中补加纯水、硫酸等药水重新调配镀液的方式稀释镀液,稀释镀液的过程中需要停止电镀。

2、综上所述,现有技术中存在以下问题:在复合膜电镀铜过程中,由于需要稀释镀液降低镀液中的铜离子浓度,在稀释过程中电镀线停止工作,降低设备利用率、生产效率,同时还需要增加储液容器,增加生产成本。


技术实现思路

1、本技术提供一种具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,以解决现有在复合膜电镀铜过程中,由于需要稀释镀液降低镀液中的铜离子浓度,在稀释过程中电镀线停止工作,降低设备利用率、生产效率,同时还需要增加储液容器,增加生产成本的问题。

2、本技术提出一种具有稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置包括:

2.如权利要求1所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述阴极导电机构包括环形走带的导电带(12),设置在竖直布置的所述电镀薄膜(1)的两侧面,所述导电带(12)带动所述电镀薄膜(1)水平走膜。

3.如权利要求1所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述阴极导电机构还包括导电辊(2),所述导电辊(2)成对设置在相邻的两个所述前段电镀单元或所述后段电镀单元之间。

4.如权利要求3所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特...

【技术特征摘要】

1.一种具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置包括:

2.如权利要求1所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述阴极导电机构包括环形走带的导电带(12),设置在竖直布置的所述电镀薄膜(1)的两侧面,所述导电带(12)带动所述电镀薄膜(1)水平走膜。

3.如权利要求1所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述阴极导电机构还包括导电辊(2),所述导电辊(2)成对设置在相邻的两个所述前段电镀单元或所述后段电镀单元之间。

4.如权利要求3所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述不溶性阳极(3)设置在所述电镀薄膜(1)的上方。

5.如权利要求3所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置还包括液下辊(9),所述电镀薄膜(1)从所述液下辊(9)的左侧接触绕过,并从所述液下辊(9)的右侧接触绕出。

6.如权利要求5所述的具有稳定镀液中金属离子浓度功能的电...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧世伟刘文卿
申请(专利权)人:深圳金美新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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