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本申请涉及一种目标位移量的确定方法、装置、激光检测设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：获取实时采集的样品图像，确定样品图像中的激光线宽与目标线宽阈值之间的目标线宽差值，目标线宽阈值是激光检测设备在聚焦位置处采集的激光线宽...
该专利属于苏州华兴源创科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华兴源创科技股份有限公司授权不得商用。

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