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提供一种能够高精度地计测载台位置并防止描绘精度降低的带电粒子射束描绘装置、带电粒子射束描绘方法及相位差板的调整方法。带电粒子射束描绘装置具备：测长部，使用第一频率及第二频率的激光来计测载台的位置；壁面位移测定部，使用第一频率及第二频率的激光...
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