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本技术公开了一种匀胶硅片清洁装置，包括硅片装载装置、超声清洗装置和冲洗装置，硅片装载装置包括硅片托，硅片托上具有装载位，装载位侧壁具有若干装载槽，硅片托具有滚托，滚托通过转动杆连接于硅片托上，滚托转动至与硅片装载装置上的硅片的上下两端相抵接...
该专利属于明士（北京）新材料开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明士（北京）新材料开发有限公司授权不得商用。

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