下载一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法的技术资料

文档序号:40744000

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本发明公开了一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液,按质量百分比计,铜蚀刻液主要组成为:过氧化氢5%~20%、有机酸5%~20%、有机碱3%~12%、金属保护剂0~0.25%、去离子水60%~77%;铜蚀刻液的pH值为2.1~3.6;有机酸为至少两...
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