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本申请涉及一种用于晶圆键合设备的双作用无摩擦气缸。该双作用无摩擦气缸包括缸体与活塞，缸体的周面具有第一气口与第二气口，活塞可滑动地设置于缸体中，以将缸体内腔分隔成与第一气口连通的第一气腔及与第二气口连通的第二气腔，活塞的周面与述缸体的周面之...
该专利属于迈为技术（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈为技术（珠海）有限公司授权不得商用。

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