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本发明公开了偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片,偏振复用的光电探测器,包括:硅波导,在预设区域设置有亚波长光栅区;匹配层,位于在亚波长光栅区内部的间隙中及亚波长光栅区的上方;第一锗探测区,位于匹配层的另一侧,将经过匹配层匹配...该专利属于无锡芯光互连技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡芯光互连技术研究院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片,偏振复用的光电探测器,包括:硅波导,在预设区域设置有亚波长光栅区;匹配层,位于在亚波长光栅区内部的间隙中及亚波长光栅区的上方;第一锗探测区,位于匹配层的另一侧,将经过匹配层匹配...