偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片制造技术

技术编号:40737502 阅读:19 留言:0更新日期:2024-03-25 19:58
本发明专利技术公开了偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片,偏振复用的光电探测器,包括:硅波导,在预设区域设置有亚波长光栅区;匹配层,位于在亚波长光栅区内部的间隙中及亚波长光栅区的上方;第一锗探测区,位于匹配层的另一侧,将经过匹配层匹配后的光信号中的第一偏振光信号吸收并转化为电信号;第二锗探测区,与硅波导连接,用于吸收光信号中的第二偏振光信号,并将其转化为电信号;复合光信号沿从第一锗探测区对应的硅波导部分至第二锗探测区对应的硅波导部分的方向传播;本方案,无需高性能的偏振分离器便实现将包含多种偏振态的复合光信号中的各种偏振态的光信号均转化为电信号,链路简单,制备效率高,良率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电探测,尤其涉及一种偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片


技术介绍

1、硅基光子芯片与标准半导体工艺兼容,具备成本低,集成度高的优点,在业界得到广泛使用。在光通信领域,随着数据量的增加,对器件带宽提出了更高的要求,可以通过复用技术,成倍提升单个物理通道的通信容量。在接收端使用解复用技术,最后被波导型锗硅光电探测器接收。

2、而波导中的光信号可以具有多种偏振态,同样可以携带多重信息进行高速传输,通常将多种偏振态的光信号进行分离需要高性能的偏振分离器(pbs),分离后的不同偏振的光信号沿不同的波导继续传输,最终经过光电探测器转换为电信号。当多路信号同时存在的时候,这种结构增加了整体链路的复杂性。

3、因此,如何在不增加整体链路的复杂性的前提下,将包含多种偏振态的复合光信号中的各种偏振态的光信号均转化为电信号,成为本领域人员正在研究的一大难题。


技术实现思路

1、本专利技术提供了一种偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片,有效解决了现有方案中将多种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种偏振复用的光电探测器,用于对包括至少两种模式光信号的复合光信号进行复用,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的光电探测器,其特征在于,所述亚波长光栅区为全刻蚀光栅。

3.根据权利要求1所述的光电探测器,其特征在于,所述亚波长光栅为周期和/或或占空比不恒定的光栅。

4.根据权利要求1所述的光电探测器,其特征在于,所述第一锗探测区、第二锗探测区的长度之比与第一锗探测区对第一偏振光信号的耦合率、第二锗探测区对第二偏振光信号的耦合率之比相关。

5.根据权利要求4所述的光电探测器,其特征在于,所述第一偏振光信号为TM模式光信号,所述第二...

【技术特征摘要】

1.一种偏振复用的光电探测器,用于对包括至少两种模式光信号的复合光信号进行复用,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的光电探测器,其特征在于,所述亚波长光栅区为全刻蚀光栅。

3.根据权利要求1所述的光电探测器,其特征在于,所述亚波长光栅为周期和/或或占空比不恒定的光栅。

4.根据权利要求1所述的光电探测器,其特征在于,所述第一锗探测区、第二锗探测区的长度之比与第一锗探测区对第一偏振光信号的耦合率、第二锗探测区对第二偏振光信号的耦合率之比相关。

5.根据权利要求4所述的光电探测器,其特征在于,所述第一偏振光信号为tm模式光信号,所述第二偏振光信号为te模式光信号。

6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:秦世宏郝沁汾段焕利
申请(专利权)人:无锡芯光互连技术研究院有限公司
类型:发明
国别省市:

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