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本技术公开了一种降低曝光机内部光线衍射的装置，包括安装板和设置于安装板上且用于汇聚光线的球状晶体，球状晶体设置于曝光机的光源和光罩之间。本技术的降低曝光机内部光线衍射的装置，设置在曝光机和光罩之间，当曝光机的光源发出光线时，经过此装置后的光...
该专利属于芜湖长信科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖长信科技股份有限公司授权不得商用。

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