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本技术公开了一种抛光液过滤装置，包括立管、端盖、塞座、塞头、翼板和顶杆。该抛光液过滤装置，管的顶端上方设有连接管，立管的底端螺纹连接有端盖，立管的内壁固定连接有塞座，塞座的上方设有与其相适配的塞头，塞头的侧壁圆周固定连接有翼板，翼板的设置使...
该专利属于意芯微电子材料（南通）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意芯微电子材料（南通）有限公司授权不得商用。

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