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本技术适用于晶圆片读片技术领域，提供了无污染晶圆片读片系统，包括：承载平台，所述承载平台一侧设有相机，所述承载平台一侧设有背景光源，所述承载平台上设有晶圆片盒，所述晶圆片盒内设有晶圆片；在相机软件设置时，选择设定晶圆片读取区域，设定单片位置...
该专利属于上海矽皓精密设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽皓精密设备技术有限公司授权不得商用。

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