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本技术涉及的晶圆多级电镀用的干燥中转站，晶圆电镀设备具有多个电镀池，中转站包括与多个电镀池相衔接的支撑架、设置在支撑架上并具有晶圆载架定位腔的定位槽、与定位槽相连接的干燥机构、用于将晶圆载架在定位槽和多个电镀池之间移动的转载机构，其中干燥机...
该专利属于晟盈半导体设备（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晟盈半导体设备（江苏）有限公司授权不得商用。

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