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本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种用于PVD沉积腔的脱气装置，包括：脱气主管和压力调节管；脱气主管上设有主管控制阀；压力调节管包括外管和位于外管中的内管；外管的吸气端连接PVD工作腔的脱气口，出气端连通脱气主管；内管包括大开...
该专利属于华虹半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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