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本技术公开了一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组...
该专利属于无锡奇众电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奇众电子科技有限公司授权不得商用。

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