晶圆盒开盖转移装置制造方法及图纸

本技术公开了一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的盖板中分别对盖板进行定位及配合操作块转动解锁以取下盖板，操作块与移动支架之间还设有转动导向机构。本技术能够实现单人快速开盖、快速锁盖，晶圆盒位置绝对固定，开盖后盖板无需另外存放，锁盖时无需校准位置，可以快速、准确、安全的锁盖。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体材料搬运，尤其涉及一种晶圆盒开盖转移装置。

技术介绍

1、通常晶圆盒的开盖、锁盖需要两人配合操作，开盖时，晶圆盒不固定位置，会导致开盖后取盖时用力过大导致晶圆盒倾斜，晶圆有滑落的风险；开盖后，开盖工具和盖板需要另外单独存放，容易造成盖板丢失，保存不当也容易损伤工具和盖板；锁盖时，还需要提前校准位置，如果卡扣没有到位，强行锁盖，容易损伤盖板，甚至损伤晶圆。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆盒开盖转移装置，旨在解决现有技术中存在的开盖、锁盖需要两人配合操作，晶圆盒不固定会导致晶圆有滑落风险，开盖后开盖工具和盖板需另外放置，锁盖时需提前校准位置才能锁盖等技术问题。

2、本技术的技术方案是：一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：包括固定底座(1)，固定底座(1)上设有用于定位安装晶圆盒(A)的水平定位机构(2)，固定底座(1)的一侧设有开盖机构(3)，开盖机构(3)可滑动安装在滑轨(4)上；所述开盖机构(3)包括移动支架(31)、设于移动支架(31)上的垂直定位机构(32)和解锁组件(33)、通过联动机构与解锁组件(33)连接的操作块(34)，垂直定位机构(32)和解锁组件(33)能够伸入晶圆盒(A)的盖板(B)中分别对盖板(B)进行定位及配合操作块(34)转动解锁以取下盖板(B)，操作块(34)与移动支架(31)之间还设有转动导向机构(35)。>

2.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：包括固定底座(1)，固定底座(1)上设有用于定位安装晶圆盒(a)的水平定位机构(2)，固定底座(1)的一侧设有开盖机构(3)，开盖机构(3)可滑动安装在滑轨(4)上；所述开盖机构(3)包括移动支架(31)、设于移动支架(31)上的垂直定位机构(32)和解锁组件(33)、通过联动机构与解锁组件(33)连接的操作块(34)，垂直定位机构(32)和解锁组件(33)能够伸入晶圆盒(a)的盖板(b)中分别对盖板(b)进行定位及配合操作块(34)转动解锁以取下盖板(b)，操作块(34)与移动支架(31)之间还设有转动导向机构(35)。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述水平定位机构(2)包括多个竖直定位销，竖直定位销分布安装在固定底座(1)上。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述移动支架(31)通过滑块(5)与滑轨(4)连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述滑块(5)上连接有滑杆(6)，滑杆(6)上滑动安装有升降块(7)，移动支架...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖宇，陶源，岳湘，
申请(专利权)人：无锡奇众电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：