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一种进行微纳米图案化的方法和装置制造方法及图纸
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下载一种进行微纳米图案化的方法和装置的技术资料
文档序号:40712594
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本发明属于微纳尺度图案化技术领域,具体涉及一种进行微纳米图案化的方法和装置。本发明在双层中空玻璃基板上平铺水凝胶溶液,水凝胶预聚后加入待图案化液滴,该液体在界面张力作用下形成待图案化液柱,然后将激光照射到待图案化液柱中,激光波长与液柱的吸收...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。
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