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本发明公开了一种基于石墨烯悬浮质量块的加速度传感器，其传感机理包括电容式和跨导式。电容式加速度传感器结构包括作为电容的上极板的石墨烯薄膜层、沉积的Ti/Au电极层、Si/SiO<subgt;2</subgt;质量块、SiO<...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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