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本发明提供一种用于显示高纯AL‑0.5％Cu靶材金相组织的腐蚀液及腐蚀方法。所述腐蚀液包括盐酸、硝酸、氢氟酸和水；所述盐酸、硝酸、氢氟酸和水的体积比为(2～3):(15～25):(3～8):(50～60)。采用本发明提供的腐蚀液对高纯AL‑...该专利属于宁波同创普润新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波同创普润新材料有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于显示高纯AL‑0.5％Cu靶材金相组织的腐蚀液及腐蚀方法。所述腐蚀液包括盐酸、硝酸、氢氟酸和水；所述盐酸、硝酸、氢氟酸和水的体积比为(2～3):(15～25):(3～8):(50～60)。采用本发明提供的腐蚀液对高纯AL‑...