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本发明涉及含氟靶材、功能膜层及其真空溅射成型方法，包括组分A、组分B、组分C和组分D，组分A包括固定颗粒；组分B包括改性硅烷；组分C包括全氟聚酯，所述全氟聚酯用于与组分A形成共价键；组分D包括网状物质。上述的含氟靶材，各组分沉积于基材后，组...
该专利属于深圳市派恩新材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市派恩新材料技术有限公司授权不得商用。

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