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本发明涉及一种高重频激光脉冲生成装置及极紫外光生成系统，包括至少2个激光单元，用于分时输出激光脉冲；至少一个扫描单元，用于分时接收至少2个激光单元输出的激光脉冲并通过摆动或转动改变激光脉冲的方向，最终使激光脉冲从预设光路分时入射至目标单元；...
该专利属于广东国志激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东国志激光技术有限公司授权不得商用。

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