【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光，具体地涉及一种高重频激光脉冲生成装置及极紫外光生成系统。
技术介绍
1、随着芯片特征尺寸的不断减小，借助19.3nm准分子光源的浸没式深紫外光刻技术进入瓶颈，使用多次曝光技术的工艺路线也已经到达了目前的商业极限。极紫外光刻技术采用13.5nm的极紫外光源，被认定是下一代光刻商用化路线必须的技术，采用激光等离子体(lpp)技术是产生极紫外光源的主流方式之一，控制激光光源装置生成激光脉冲轰击金属液滴靶获得极紫外光，但在该过程中难以实现激光脉冲同时保持高能量，高重频输出，导致轰击锡液滴靶时极紫外光转换效率低、输出功率低，难以用来实现工业化生产。
技术实现思路
1、基于此，针对上述问题，本专利技术提供了一种高重频激光脉冲生成装置及极紫外光生成系统，可以保证输出的激光脉冲的高能量和高重频，提高了激光脉冲的输出效率，进一步可极大的提高极紫外光的转换效率和平均功率。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种高重频激光脉冲生成装置，包括：至少2个激光单元，用于分时输出激光脉冲；至...
【技术保护点】
1.一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：包括
2.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：至少2个所述激光单元分时输出的激光脉冲从不同角度入射到至少一个扫描单元，所述扫描单元在摆动或转动到不同的角度分别接收不同激光单元入射的激光脉冲。
3.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述扫描单元的数量为多个，每个扫描单元接收至少2个激光单元输出的激光脉冲。
4.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述角度控制装置控制所述扫描单元摆动或转动的预设角度范围包括初始角度和目标...
【技术特征摘要】
1.一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：包括
2.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：至少2个所述激光单元分时输出的激光脉冲从不同角度入射到至少一个扫描单元，所述扫描单元在摆动或转动到不同的角度分别接收不同激光单元入射的激光脉冲。
3.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述扫描单元的数量为多个，每个扫描单元接收至少2个激光单元输出的激光脉冲。
4.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述角度控制装置控制所述扫描单元摆动或转动的预设角度范围包括初始角度和目标角度，角度控制装置控制所述扫描单元从初始角度开始经过n次转动到达目标角度后回到初始角度，其中n为大于或等于1的整数。
5.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述预设光路的数量为多条，多条所述预设光路分布于不同位置并最终到达目标单元，多条所述预设光路的不同位置包括不同高度、不同角度或不同平面中的一个或多个不同。
6.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述扫描单元为扫描振镜或可转动的反射镜。
7.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述扫描单元与目标单元之间还设置有聚焦单元，所述聚焦单元包括扩束透镜和聚焦透镜。
8.根据权利要求1所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：所述目标单元为移动的目标单元，所述目标单元的移动路径与分时入射的激光脉冲的光路相交形成交点，所述激光脉冲在交点处入射到目标单元。
9.根据权利要求8所述的一种高重频激光脉冲生成装置，其特征在于：分时入射的所述激光脉冲入射到交点的频率为p1，目标单元移动到交点的频率为p2，其中p1＝n*p2，n为正整数。
10.一种极紫外光生成系统，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：马修泉，张琳，左鑫燕，闻锦程，周世豪，王力波，
申请(专利权)人：广东国志激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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