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本申请涉及一种晶圆测试方法、装置、设备及存储介质，应用在晶圆测试领域，包括获取晶圆片特征点模板图和晶圆片预设坐标点；扫描晶圆，并根据所述晶圆片特征点模板图识别所述晶圆的特征点；根据所述晶圆的特征点确定晶圆坐标点，将所述晶圆坐标点与所述晶圆片...
该专利属于无锡伟测半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡伟测半导体科技有限公司授权不得商用。

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