温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种用于高压处理装置的气箱组件，其包括：壳体，具备内部空间；供给模块，被构成为配置在所述内部空间内，用于向高压处理装置的腔室供给工艺气体；排气模块，被构成为用于排出处理所述腔室中的物体之后产生的气体；以及填充模块，被构成为用于向所...
该专利属于HPSP有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过HPSP有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。