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一种悬浮二维薄膜的制备方法及其在纳机电气压传感器上的应用，所述的制备方法在所涉及的气压传感器中，悬浮二维材料或悬浮二维异质层作为敏感薄膜使用。悬浮二维材料或二维异质层覆盖在氧化的硅基底的空腔上，电极与悬浮二维材料及异质层相连接，当外在气压发...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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