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本申请实施例提供的芯片表面缺陷检测方法及设备，通过自动化的方式，大幅减少了人工检测的时间和成本，极大地提高了生产效率。与传统的手动或半自动化检测相比，该技术方案利用深度学习模型进行缺陷检测，能够更准确地识别和定位微电子芯片表面的缺陷，从而提...
该专利属于深圳龙芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳龙芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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