下载一种新型集成气路控制系统及控制方法的技术资料

文档序号:40702066

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本发明涉及玻璃镀膜技术领域,具体涉及一种新型集成气路控制系统及控制方法。系统,包括一集成气路装置,集成气路装置上设有,进气口,接入工艺气体;混合气路,设于集成气路装置内,混合气路为包括多段路径曲折的气道的迷宫式气路,工艺气体通过在混合气路内...
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