下载一种具有梳状源极场板提高耐压的GaN HEMT及制备方法的技术资料

文档序号:40701598

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本发明提供一种具有梳状源极场板提高耐压的GaN HEMT及制备方法,该GaN HEMT包括:梳状源极场板;所述梳状源极场板位于栅极和漏极之间;所述梳状源极场板的第一端与源极连接并延伸至栅极上方,第二端位于栅极和漏极之间并被钝化层包覆;所述梳...
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