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一种用于芯片截面热应变测量的立式双边导热冷热台制造技术
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下载一种用于芯片截面热应变测量的立式双边导热冷热台的技术资料
文档序号:40698793
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本技术提供一种用于芯片截面热应变测量的立式双边导热冷热台,包括变温机构与夹持机构,所述变温机构包括变温板,所述夹持机构包括支撑台、至少两组滑设于支撑台上的竖立支撑架、驱动组件,所述驱动组件用于带动两组所述竖立支撑架相向或相背移动,变温板通过...
该专利属于东莞理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过东莞理工学院授权不得商用。
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