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本技术公开了一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，包括载物台、位于载物台上方的屏幕和相机，所述屏幕和相机分别设置在载物台的两侧，且呈倾斜角度。本技术装置简单可靠，操作简单，实用性强，对实现晶圆质量检测具有重要意义。...
该专利属于奈米科学仪器设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奈米科学仪器设备（上海）有限公司授权不得商用。

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