【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学工程，具体涉及一种基于单目偏折术的晶圆检测装置。
技术介绍
1、随着汽车电子、智能手机等前沿应用领域的快速发展，国内集成电路市场迅速扩大，集成电路产业进入快速发展期，晶圆是制造集成电路最基本的材料之一，晶圆翘曲度和缺陷在集成电路的制造过程中起到关键性的作用，直接影响着集成电路工艺的良品率。目前常用的干涉测量结构复杂，不适合工业现场的测量条件。因此，需要寻找其他测量装置来解决这一问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种基于单目偏折术的晶圆检测装置。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，包括载物台、位于载物台上方的屏幕和相机，所述屏幕和相机分别设置在载物台的两侧，且呈倾斜角度。
3、进一步地，所述载物台的顶面开设有用于放置晶圆的凹槽，所述凹槽为圆形。
4、进一步地，所述载物台上设置有支撑架，且支撑架上设置有横梁，所述屏幕和相机固定在横梁下端。
5、进一步地，所述横梁上设置有驱动屏幕伸缩的第一电动伸缩机构，以及驱动相机伸缩的第二电动伸缩机构。
6、进一步地，所述第一电动伸缩机构包括连接横梁与屏幕的伸缩杆一，以及驱动伸缩杆一伸缩的伸缩电机一。
7、进一步地，所述第二电动伸缩机构包括连接横梁与相机的伸缩杆二，以及驱动伸缩杆二伸缩的伸缩电机二。
8、进一步地，所述相机为ccd相机。
9、进一步地，还包括与屏幕电信号连接的计算机，通过计
10、由上述技术方案可知，本技术具有如下有益效果：
11、本技术装置简单可靠，操作简单，实用性强，对实现晶圆质量检测具有重要意义。
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1.一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于，包括载物台(1)、位于载物台上方的屏幕(2)和相机(3)，所述屏幕(2)和相机(3)分别设置在载物台的两侧，且呈倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述载物台(1)的顶面开设有用于放置晶圆的凹槽(4)，所述凹槽(4)为圆形。
3.根据权利要求1所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述载物台(1)上设置有支撑架(5)，且支撑架(5)上设置有横梁(6)，所述屏幕(2)和相机(3)固定在横梁(6)下端。
4.根据权利要求3所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述横梁(6)上设置有驱动屏幕伸缩的第一电动伸缩机构，以及驱动相机伸缩的第二电动伸缩机构。
5.根据权利要求4所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述第一电动伸缩机构包括连接横梁与屏幕的伸缩杆一(710)，以及驱动伸缩杆一伸缩的伸缩电机一(720)。
6.根据权利要求4所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二电动
7.根据权利要求1所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述相机(3)为CCD相机。
8.根据权利要求1所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：还包括与屏幕电信号连接的计算机，通过计算机控制屏幕投射编码的正弦灰度。
...【技术特征摘要】
1.一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于，包括载物台(1)、位于载物台上方的屏幕(2)和相机(3)，所述屏幕(2)和相机(3)分别设置在载物台的两侧，且呈倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述载物台(1)的顶面开设有用于放置晶圆的凹槽(4)，所述凹槽(4)为圆形。
3.根据权利要求1所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述载物台(1)上设置有支撑架(5)，且支撑架(5)上设置有横梁(6)，所述屏幕(2)和相机(3)固定在横梁(6)下端。
4.根据权利要求3所述的一种基于单目偏折术的晶圆检测装置，其特征在于：所述横梁(6)上设置有驱动屏幕伸缩的第一电动伸缩机构，以...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱志群，叶颖，
申请(专利权)人：奈米科学仪器设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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