温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种喷淋装置及化学气相沉积设备，包括至少2个第二气路单元和位于相邻所述第二气路单元之间的第一气路单元，所述第二气路单元包括第一凸起和设于所述第一凸起底部的第二凸起，以及贯穿所述第一凸起和所述第二凸起的喷淋通道；所述第一凸起的径向...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。