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公开了入口喷嘴组件、消减设备和方法。所述入口喷嘴组件用于用来处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备，所述入口喷嘴组件包括：入口喷嘴，其被构造成将流出物流输送到消减室；头部，其限定用于接收入口喷嘴的孔口；以及绝缘安装件，其被构造成将入口喷...
该专利属于埃地沃兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹有限公司授权不得商用。

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