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本发明公开了一种具有三层钝化层的晶体管，所述具有三层钝化层的晶体管结构自上而下依次包括金刚石钝化层、功能层、漂移层、衬底；其中，所述功能层包括源极、漏极和栅极；所述源极和漏极设置在漂移层的两侧，所述源极和漏极之间沉积有栅介质层；所述栅介质层...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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