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本发明公开了多晶硅生产用填料清洗工艺，包括以下步骤：S1风淋；S2第一次清洗；S3第一次清洗；S4第一次漂洗；S5第二次漂洗；S6超纯水漂洗；S7烘干；S8冷却；S9检测；S10包装。本发明通过将填料进行多次清洗、漂洗和烘干，使得填料可得到...
该专利属于海盐得胜化工设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海盐得胜化工设备有限公司授权不得商用。

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