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晶圆扩张装置和方法以及晶粒键合系统制造方法及图纸
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文档序号:40670220
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本发明提供一种能够在扩张晶圆时使晶粒之间的间隙变得均匀的晶圆扩张装置和方法以及晶粒键合系统,可以包括:晶圆台,对晶圆被贴附于切割胶带上的晶圆环进行支撑;支撑环,形成于所述晶圆台,支撑所述切割胶带;切割胶带扩张装置,形成于所述晶圆台上,至少一...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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