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本发明提供了一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及半导体器件技术领域，通过在叉指电极的上方形成至少一层导热层，并对该导热层进行图形化处理以去除部分导热层，在该去除区域降低声速，从而在特定交界面位置(电极指条与对向汇流条，或电极指条与假...
该专利属于浙江星曜半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江星曜半导体有限公司授权不得商用。

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