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本发明公开了一种真空腔的气压调节方法，涉及真空镀膜技术领域，用于镀膜设备上，镀膜设备包括真空腔、用于为真空腔供气的气源、用于为真空腔减压的抽真空机构、用于调节真空腔内气压的自由调节阀以及用于检测真空腔内气压的压力传感器以及用于根据压力传感器...
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