温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆加热盘组件，包括加热丝，所述加热丝安装在加热上盘体和下支撑板之间；所述加热丝呈圆形盘绕，其为一整根加热丝体，其两端由中部向外盘绕，其两端向外弯折呈第一环形部，第一环形部的左侧具有第一间距，第一间距的两端处的第一环形部向外...
该专利属于浙江大学绍兴研究院所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学绍兴研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。