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本发明介绍了一种用惰性气体保护法制备高品质ＡＺＯ靶材的方法，使用纯度不低于９９．９％的纳米氧化锌与纯度不低于９９．９９％的纳米氧化铝，氧化铝占总重量的１．０～５．０％，将混合物球磨掺杂，喷雾造粒，采用模压和冷等静压成型相结合的方式成型，最后...
该专利属于中国船舶重工集团公司第七二五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶重工集团公司第七二五研究所授权不得商用。

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