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该扩张装置(100)具备：热缩部(10)，对通过扩张部(6)的扩张而产生的片部件(220)的晶片(210)的周围的部分的松弛进行加热而使该松弛收缩；及紫外线照射部(11)，在利用热缩部对片部件进行加热时，并行地向片部件照射紫外线而降低片部件...
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