下载硅片倒角崩边视觉检测方法及装置的技术资料

文档序号:40655627

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本发明涉及机器视觉缺陷检测技术领域,它涉及一种硅片倒角崩边视觉检测方法及装置,其中,检测方法包括以下步骤:获取硅片倒角图像;根据硅片倒角图像,生成其灰度直方图;根据灰度直方图,提取其中的灰度最小值;根据灰度最小值对硅片倒角图像进行阈值分割,...
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