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本发明涉及晶圆输送技术领域，特别涉及一种立式炉加工晶圆自动传送设备，包括传送模块，所述传送模块上左右对称可拆卸安装有两个圆环板。采用现有的方法对多个晶圆进行输送时，通常需要先准备好输送设备、载具和清理工作区域，然后将晶圆放置在合适的载具上，...
该专利属于安徽旭腾微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽旭腾微电子设备有限公司授权不得商用。

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