下载一种混分设备的技术资料

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本技术提供一种混分设备,所述混分设备包括机架、第一晶圆分选机构和第二晶圆分选机构,所述第一晶圆分选机构设置在机架的一端,在机架的另一端设有第二晶圆分选机构;所述第一晶圆分选机构包括第一晶圆推送装置、第一晶圆存放装置和第一晶圆分选装置,所述第...
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